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真空泵系列產(chǎn)品組合中久經(jīng)考驗的干式螺桿真空泵，可以為工藝嚴苛的太陽能、平板顯示器和半導(dǎo)體應(yīng)用提供世界一流的高負荷和大流量進出片室解決方案。該真空泵采用獨特的螺桿設(shè)計，并且集一流的抽速、強勁的抽氫性能，以及卓越的粉塵處理能力于一身。
同時配備了高能效電機和世界先進的休眠模式功能，可節(jié)省大量能耗。采用最優(yōu)化的空間設(shè)計，并具有節(jié)能潛力，因此運行成本很低。
技術(shù)設(shè)計
螺桿真空泵采用反向旋轉(zhuǎn)的兩個轉(zhuǎn)子，通過螺桿與腔體間形成的腔室將抽取的工藝介質(zhì)逐級輸送至排氣口。此螺桿結(jié)構(gòu)從更大程度上減少介質(zhì)在真空泵中的滯留時間，使其具有更佳的粉塵處理和重啟能力。
與標準螺桿設(shè)計相比，改進后的螺桿設(shè)計能耗更低，壓縮后的氣體溫度更低。使用間接的制冷方法，可使整個泵體的溫度保持恒定，從而消除冷點，并為冷卻水夾套提供穩(wěn)定的溫度。先進的高壓縮螺桿設(shè)計實現(xiàn)了同類產(chǎn)品中更佳的抽氫性能。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機 空壓機修訂日期：2016-05-27
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