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低溫真空泵的選型技術(shù)
低溫真空泵是低用低溫（低于100K）表面冷凝、吸附和捕集氣體來獲得和保持真空的設(shè)備。它有很多優(yōu)點(diǎn)：
①起始?jí)毫Ω撸ㄔ瓌t上可從大氣壓開始抽氣），極限壓力低，可達(dá)10﹣13Pa，因此，其工作范圍壓力寬；
②抽速大，對(duì)于20℃空氣，更大抽速可達(dá)11.6L（s·cm²）；
③可以抽除各種氣體，從而獲得清潔的超高真空；
④作為大容量的排氣系統(tǒng)，占地面積小，電力消耗少；
⑤有極大的靈活性，可以做成插入式，用于無法布置其他類型泵的場(chǎng)合。低溫真空泵運(yùn)行時(shí)需要冷劑或制冷設(shè)備。
低溫真空泵的應(yīng)用范圍非常廣泛：
①在空間科學(xué)技術(shù)中，宇宙空間存在著真空和低溫狀態(tài)，外層空間的真空度可達(dá)10﹣14Pa，溫度為3K左右。因此，低溫真空是宇宙空間模擬的理想設(shè)備。此外，研究空間條件下材料表面現(xiàn)象，低壓空氣動(dòng)力學(xué)試驗(yàn)，火箭發(fā)動(dòng)機(jī)高空點(diǎn)火試驗(yàn)，空間生物技術(shù)等，都用低溫真空泵。
②應(yīng)用在高能物理、等離子體和核聚變研究中。
③應(yīng)用在薄膜制備領(lǐng)域。
④應(yīng)用在微電子學(xué)，尤其是半導(dǎo)體微電子技術(shù)，如離子注入，離子刻蝕等。
⑤應(yīng)用在近代科學(xué)儀器中，如掃描電鏡、電子衍射儀等各種分析儀器。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機(jī) 空壓機(jī)修訂日期：2017-12-07
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